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  • GC-EPD 氣相分析儀

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ASD Ka6000plus GC-EPD 加強型等離子氣相分析儀

 

。 專用大宗氣體、特殊氣體中低濃度雜質ppb等級之線上連續分析。

。 依應用可選用: Ar、He、N2、O2、H2作為載氣。

。 無需燃燒氣體UHP，無需助燃氣，分析週期短。

。 可測PPB等級: 氫、氮、氬、氦、氧、氖、CxHy、硫化物、水、醛、醇、氨、CO、CO2。

。 應用於電子氣體、特殊氣體、燃料電池氣體、半導體製程分析

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