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  • OMA-300 UV-VIS 製程氣體分析儀

  • OMA-300 UV-VIS 製程氣體分析儀

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紫外線全光譜分析儀，nova-II UV-VIS紫外可見光光譜儀，强大的背景组成成分修正

 

■ OMA-300為紫外線全光譜分析儀，nova-II UV-VIS紫外可見光光譜儀

■ 光譜寬度(190~800nm)，解析度1nm，準確度±0.004AU

■ 1024二極體陣列檢測元件，可以做到無交叉干擾分析，及能强大的背景组成成分修正

■ 光源壽命長達五年。分離式反應室，利用光纖引導光束進出反應室，製程氣未和電子元件接觸

■ 沒腐蝕或有害氣體與操作者接觸，安全維修。沒有轉動元件，備品少

■ 多成份量測：SO2、NO、 NO2、H2S、HN3簡化系統

■ 可以設定自動零點校正週期的時間，為系统的稳定性提供了保證

■ 強大的人機介面，提供豐富劃面; 儀器狀態、即時測值、歷史曲線、實際吸收光譜圖、觸控式螢幕參數設定容易

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