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IDI-CYBOR 藥液供應泵浦／Dispense Unit
IDI-CYBOR藥液供應泵浦與Dispense Unit，是針對光阻液、聚醯亞胺、SOG、溶劑及顯影液等製程藥液所設計的產品系列。
本頁介紹M610／M650、M450／M550、M7000 Series、M300／M310及M5000共5組產品系列。
產品系列
| 系列 | 供液方式 | 主要適用藥液 |
|---|---|---|
| M610／M650 | 高黏度藥液供應 | 高黏度光阻液、聚醯亞胺 |
| M450／M550 | Pressure on Demand | M450：光阻液 M550：SOG、FOX、SILK、DE |
| M7000 Series | Positive Displacement | 光阻液 |
| M300／M310 | Pressure on Demand | M300：光阻液 M310：溶劑、顯影液 |
| M5000 | Positive Displacement | 光阻液 |
新品銷售與維修
KJT Japan提供IDI-CYBOR藥液供應泵浦／Dispense Unit的新品銷售及維修服務。實際供應與維修可行性，需依型號、規格及設備狀況個別確認。
特色・規格
各型號的適用藥液、黏度範圍、吐出量、輸出數及控制器配置均有所不同。
| 項目 | M610／M650 | M450／M550 | M7000 Series | M300／M310 | M5000 |
|---|---|---|---|---|---|
| 主要適用藥液 | 高黏度光阻液 聚醯亞胺 | M450：光阻液 M550：SOG、FOX、SILK、DE | 光阻液 | M300：光阻液 M310：溶劑、顯影液 | 光阻液 |
| 黏度範圍 | 300～30,000 cps | 0～300 cps | 0～3,000 cp 依配置而定 | 0～300 cps | 0～3,000 cps |
| 最大吐出量 | 20 ml／45 ml | 75 ml | 提供資料未記載 | M300：425 ml M310：850 ml | 16 ml |
| 輸出數 | 1 | 1 | 1 | 最多3組 | 1 |
| 供液來源切換 | 無 | 無 | 提供資料未記載 | 有 | 無 |
| 內部儲液槽 | 無 | 有 | 提供資料未記載 | 有 | 無 |
| 控制器 | 內建控制器 需連接PC | 內建控制器 需連接PC | 提供資料未記載 | 需外接控制器 最多可對應4台泵浦 | 需外接控制器 |
| 驅動氣體 | N/A | M450：氮氣 M550：氦氣／氬氣 | 提供資料未記載 | 氮氣 | N/A |
| 標準管路尺寸 原廠表格標示 | 3/8、1/2 | 1/8、3/16、1/4、4 mm、6 mm | 提供資料未記載 | 1/4 input／output | 1/4、3/8 |
※ M7000 Series的數據依據提供的「TID Pump Line Card」。詳細規格及新品供應狀況請個別洽詢。
適用用途・型號
M610／M650｜High Viscosity Dispense Unit
適用於高黏度光阻液及聚醯亞胺。黏度範圍為300～30,000 cps，單一輸出。
M450／M550｜Pressure on Demand Dispense Unit
M450主要適用於光阻液；M550主要適用於SOG、FOX、SILK及DE。黏度範圍為0～300 cps，單一輸出。
M7000 Series｜Positive Displacement Dispense Unit
適用於光阻液的Positive Displacement Dispense Unit。提供資料記載的黏度範圍為0～3,000 cp，實際範圍依配置而定；單一輸出，可變流量。
M300／M310｜Pressure on Demand Dispense Unit
M300主要適用於光阻液；M310主要適用於溶劑及顯影液。黏度範圍為0～300 cps，具備供液來源切換功能，最多可對應3組輸出。
M5000｜Positive Displacement Dispense Unit
適用於光阻液。黏度範圍為0～3,000 cps，最大吐出量為16 ml，單一輸出。
新品銷售・維修
KJT Japan提供IDI-CYBOR藥液供應泵浦／Dispense Unit的新品銷售及維修服務。我們將依使用型號、設備配置、使用藥液及故障狀況，確認新品供應或維修的可行性。
01｜新品銷售
請提供適用藥液、黏度、所需吐出量、輸出數、控制器配置及設備連接條件，以便確認適用型號、規格及供應狀況。
02｜維修服務
可洽詢M610／M650、M450／M550、M7000 Series、M300／M310及M5000的維修服務。需確認型號、序號、故障現象及產品狀況後，才能判定維修可行性。
洽詢時請提供
・製造商及型號
・產品序號
・使用藥液
・故障現象
・設備及銘牌照片
・新品購買或維修需求
※ 新品供應及維修可行性會因型號、規格、產品狀況及零件取得情況而異。圖片為產品示意圖，詳細內容請洽詢KJT Japan。
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