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如何挑選HEPA 與 ULPA 高效過濾網?
一、 EN 1822 國際標準:HEPA 與 ULPA 等級對照表
歐洲標準 EN 1822 是目前全球最廣泛採用的高效空氣過濾器分級規範。該標準根據濾網對「最易穿透粒徑(MPPS,通常在 0.1μm~0.2μm 之間)」的過濾效率進行分級:
1. EPA(高效空氣濾網)
E10:過濾效率 ≥ 85%
E11:過濾效率 ≥ 95%
E12:過濾效率 ≥ 99.5%
2. HEPA(高效率空氣過濾網)
H13:過濾效率 ≥ 99.95%(對 0.3μm 粒子)
H14:過濾效率 ≥ 99.995%(無塵室最常用標準規格)
3. ULPA(超高效空氣過濾網)
U15:過濾效率 ≥ 99.9995%(對 0.12μm 粒子)
U16:過濾效率 ≥ 99.99995%
U17:過濾效率 ≥ 99.999995%(用於極度精密之半導體奈米製程)
二、 如何為您的無塵室選擇合適的高效過濾網?
依據無塵室等級(Class / ISO Class)選擇:
Class 100,000 ~ 10,000 (ISO 8 ~ 7):選用 H13 等級 HEPA 濾網即可滿足需求。
Class 1,000 ~ 100 (ISO 6 ~ 5):建議選用 H14 等級 HEPA 濾網。
Class 10 ~ 1 (ISO 4 ~ 1):必須採用 U15 以上等級之 ULPA 超高效過濾網。
考量風量與風速均勻度:
高效過濾網採用超細玻璃纖維褶頁設計,選購時應注意 separatorless(無隔板)或有隔板設計,無隔板設計體積小、重量輕,且氣流分佈更加均勻。外框材質與密封膠:
無塵室用 HEPA 濾網通常採用陽極處理鋁合金框或不銹鋼框,密封邊膠必須採用液態聚氨酯(PU)雙組份膠,確保 100% 不漏氣。
三、 HEPA 濾網安裝與現場測試(PAO / DOP Test)
安裝 HEPA 濾網時,絕對不能直接憑感覺掛上。高標準無塵室工程在安裝完畢後,必須進行 PAO / DOP 氣膠洩漏測試(Leakage Test):
目的:確認濾網本身無破損,且安裝框架邊框無任何洩漏。
規範:洩漏率不得大於 0.01%。
建議:採購時請選擇經過原廠 100% 出廠掃描檢測並附帶檢驗報告的高效過濾網。
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